Über uns

Fachgebiet Nanophotonik

Bild: Photonische Kristalle auf MEMS Filter

Institut für Nanostrukturtechnologie und Analytik

Fachgebiet Nanophotonik

Prof. Dr. T. Kusserow

Heinrich-Plett-Str. 40
34132 Kassel

Willkommen auf den Seiten des Fachgebietes Nanophotonik im Fachbereich Elektrotechnik/Informatik der Universität Kassel. Zusammen mit den Kollegen der Technischen Elektronik der Technischen Physik bilden wir das Institut für Nanostrukturtechnologie und Analytik.

Wir beschäftigen wir uns mit der Forschung und Entwicklung von optischen und optoelektronischen Bauelementen mittels Mikro- und Nanostrukturtechnologien. Unsere Forschungsthemen sind auf die Wechselwirkungen von Licht mit Strukturen, deren Größe im Bereich der verwendeten Wellenlänge oder unterhalb dieser liegen, ausgerichtet.

Das Institut verfügt über eine moderne Reinrauminfrastruktur mit 400qm Reinraum bis hin zur Reinraumklasse 1. Wir arbeiten mit diversen Depositions- und Ätzverfahren, Focused Ion Beam (FIB) Technologie, Nanoimprint-Technologie, optischer Lithographie und Elektronenstrahl-Lithographie. Die Reinrauminfrastruktur wird flankiert durch Meßtechniklabore und weitere Technologielabore.

In unseren Projekten entwerfen und untersuchen wir neue Strukturen und deren Anwendungen in den Bereichen Sensortechnologie und Lichterzeugung. Die hierfür benötigten Prozesstechnologien und Charakterisierungsmethoden werden von uns entwickelt und optimiert.

Wir arbeiten eng vernetzt mit den Arbeitsgruppen im Fachbereich Elektrotechnik/Informatik und dem "Center for Interdisciplinary Nanostructure Science and Technology" (CINSaT) sowie nationalen und internationalen Kooperationspartnern.