Tag der Technik
Herstellung von eurem Wafer-Stück
(1) Das Silizium-Substrat (Wafer) wird durch eine Aufdampfanlage mit Siliziumdioxid beschichtet, damit der QR Code durch einen besseren Kontrast gescannt werden kann.
(2) Anschließend wird ein fotosensitiver Lack mit Hilfe einer Lackschleuder auf die Oberfläche aufgebracht. Das Aufschleudern des Lackes führt zu einer planaren Oberfläche. Je nach Lack werden belichtete Stellen hart oder lösen sich. In unserem Fall handelt es sich um einen Positivresist, d.h. die belichteten Stellen werden gelöst, sodass sie beim Entwickeln entfernt werden können.
(3) Die gewünschten Strukturen werden auf eine Maske aufgebracht (hier war es eine Folie, bedruckt mit dem Text und dem QR Code). Diese Maske wird über den Lack gelegt und mit einer UV-Lampe belichtet. Durch diesen Schritt härtet die Schrift und der QR-Code aus.
(4) Entwickeln bedeutet, dass die löslichen Reste mit einem Entwickler (in diesem Fall eine KOH Lösung) gewaschen werden. Der verfestigte Lack bleibt übrig.
(5) In diesem Schritt wird Siliziumdioxid geätzt bzw. entfernt. Der Lack auf der Oberfläche schützt dabei die darunterliegende Stellen (Text und QR-Code), sodass dort SiO2 nach dem Ätzen übrig bleibt. Messungen haben ergeben, dass die Schichtdicke des SiO2 70 nm beträgt).
(6) In einem letzten Schritt wird der Lack entfernt, sodass die Oberfläche mit Siliziumdioxid strukturiert ist.
Ein Vergleich unserer Strukturen mit einem menschlichen Haar
Hier zeigen wir euch ein paar Aufnahmen, die für euch aufgenommen wurden. Durch diese Bilder solltet ihr mehr einblicke in unsere Dimensionen bekommen.
Noch eine kurze Info für euch, damit die Größenordnungen auch besser verstanden werden:
In Europa gilt ein Haar als fein, das einen Durchmesser von 0,04 bis 0.06 mm hat. Normal ist ein Haar zwischen 0,06 und 0,08 mm und als dick wird es zwischen 0,08 und 0,1 mm bezeichnet. Asiatisches Haar ist im Vergleich zu europäischem Haar deutlich dicker, der Durchschnitt in Asien liegt zwischen 0,08 und 0,12 mm.
