For­schung

For­schungs­schwer­punk­te

Das Fachgebiet Technische Physik befasst sich schwerpunktmäßig mit den folgenden Themenfeldern:

  • Entwicklung von neuartigen Verfahren zur Nanostrukturierung von Halbleitersystemen
  • Morphologische, optische und elektronische Charakterisierung von nanostrukturierten Halbleitern
  • Herstellung von neuartigen optoelektronischen und nanophotonischen Bauelementen
  • Optische und elektronische Charakterisierung der Bauelemente
  • Herstellung und Charakterisierung von nanokristallinen Diamantschichten

 

Bei der Nanostrukturierung von Halbleitermaterialien werden drei Richtungen verfolgt:

  1. Top-down approach: Herstellung von Nanostrukturen durch Nanolithographieverfahren (z.B. Elektronen- oder Ionenstrahl- bzw. Nanoimprint-Verfahren) und Ätztechniken (z.B. nass- oder trockenchemisches Ätzen)
  2. Bottom-up approach: Herstellung von Nanostrukturen mit selbstorganisierenden Verfahren (z.B. Quantenpunktwachstum mit Molekularstrahlepitaxie, Entstehung von Nanokristalliten mit speziellen Plasmaabscheideverfahren)
  3. Mixed approach: Herstellung von Nanostrukturen durch Kombination von top-down und bottom-up approach (z.B. Quantenpunktwachstum auf vorstrukturierten Substraten).

Eine thematische Übersicht ist in einem Übersichtsposter dargestellt.

Ar­beits­ge­bie­te

Die Forschung gliedert sich aktuell in folgende Gebiete auf: