Für die Messung präzisionsbearbeiteter Oberflächen mit einer Höhenauflösung im Nanometerbereich hat sich die Weiß­licht­in­ter­fe­ro­me­trie (WLI) durchgesetzt. In einem vorherigen Projekt wurden ein Michelson- und ein Linnik-Interferometer entwickelt, die durch passive Kompensation von Stör­schwin­gung­en in pro­duk­tions­na­hen Bereichen eingesetzt werden können. Die Kom­pen­sa­tion der WLI Informationen erfolgt mithilfe eines in den Aufbau integrierten, abstandsmessenden La­ser­in­ter­fe­ro­me­ters. Um die Robust- und Kompaktheit des Systems zu verbessern wird im aktuellen Projekt der Einsatz als Mirau-Interferometer realisiert. Zusätzlich dazu wird der Einfluss kostengünstiger Linearachsen untersucht, deren Gleich­lauf­schwan­kun­gen durch das Laserinterferometer mit erfasst und nachfolgend korrigiert werden sollen.
Der zu entwickelnde Algorithmus wird in der Lage sein, Mes­sun­gen in Echtzeit auszuwerten, wodurch die Dauer der Mes­sung nur durch die Geschwindigkeit des Weißlicht-Tiefenscans be­grenzt sein wird.