In diesem Projekt wird die optische Auflösung von Interferometern in Abhängigkeit des Ein­falls­win­kels des Lichtes untersucht. Um ein Messobjekt selektiv unter verschiedenen Einfallwinkeln zu beleuchten, werden in den Be­leuch­tungs­strah­len­gang verschiedene ringförmige Blenden im­ple­men­tiert und in die Pupillenebene der Objektive abgebildet, sodass die Eintrittspupille der Objektive nur teilweise beleuchtet wird. Ändert sich der Einfallwinkel, ändert sich auch die k_z-Komponente des Wellenvektors. Je nach Beschaffenheit und Periode der zu messenden Oberflächenstrukturen wird das Licht unter verschiedenen Winkeln gestreut, sodass unter bestimmten Einfallswinkeln nur bestimmte Strukturdetails zur In­ter­fe­ro­gramm­bil­dung beitragen. Da die Phasenauswertung eines Interferogramms bei unterschiedlichen Aus­wer­te­wel­len­län­gen durchgeführt werden kann, soll untersucht werden, wie Auswertewellenlänge und Einfallswinkel optimiert werden können um verschiedene Oberflächen-Ortsfrequenzen mög­lichst verlässich zu messen. Weiterhin sollen verschiedene Beleuchtungswellenlängen ein­ge­setzt werden um verschiedene Einfallswinkel parallel zu messen und so optimale Bedingungen für verschiedene Ortsfrequenzen zu kombinieren.