Rasterelektronenmikroskop Ultra Plus (Zeiss)
Das Zeiss Ultra Plus Feldemissions Rasterelektronenmikroskop ermöglicht die Aufnahme von Bildern mit bis zu einer 1.000.000-fachen Vergrößerung. Neben einem In Lens und SE2 Detektor stehen BSD, EDX und EBSD Detektoren zur Verfügung.
Die Schottky-Elektrode emittiert Elektronen niedriger bis mittlerer Energie mit Anregungsspannungen zwischen 0,02 kV und 30 kV.
Durch die seitlich positionierte Luftschleuse ist es möglich, in einer Kammer mit Hochvakuum von besser als 2*10-4 Pa vergleichsweise schnelle Probenwechsel durchzuführen.
Die Bühne, welche Proben bis zu einem Gewicht von 0,5 kg tragen kann, erlaubt Verfahrwege von 130 mm in X und Y Richtung sowie 50 mm in Z Richtung. Es besteht außerdem die Möglichkeit einer kontinuierlichen 360° Rotation der Proben sowie Kippen von -3° bis 70°.