Zweikammer-Multiquellen-Aufdampfanlage

Zweikammer-Multiquellen-Aufdampfanlage mit Transferschleusensystem zur thermischen Abscheidung organischer und metallischer Schichten im Hochvakuum.

Diese ist mit einer Glovebox zur Probenvorbereitung luftempfindlicher Substrate unter Schutzgasatmosphäre ausgestattet.