Nanoindenter iMicro (KLA)
Die Nanoindentierung ist die Methode der Wahl, um Härte und Elastizitätsmodul mit submikrometrischer Auflösung zu vermessen. Der iMicro Nanoindenter stellt dazu ein programmierbares, hochautomatisiertes System dar, das sich bestens für große Messreihen eignet. Es können Hunderte Messungen vorprogrammiert werden. Damit lassen sich beispielweise Härte- und Elastizitätsmodulprofile in Randbereichen oder Härtemappings von Gefügebestandteilen bestens vermessen.
Darüber hinaus können über die InView Programmierungssprache neuartige Nanoindentierungsmethoden entwickelt werden, um Zugang zu mechanischen Materialkennwerte über Härte und E-Modul hinaus auf der Nanoskala zu erlangen, wie z.B. Kriech- und Ermüdungeigenschaften. Dabei kann sich das Fachgebiet auf die langjährige Expertise von Prof. Merle anlehnen. Auf dem iMicro sind auch seine erste Versuche von Nanoindentierung bei hohen Dehnraten erfolgt.
Das iMicro eignet sich zuletzt auch sehr gut, um Mikrodruckversuche ("Micropillar compression") durchzuführen.
Spezifikationen
Das Mikroskop und das hochsteife Fahrgestell für Aktuator und Probenhalterung fest im Gehäuse verbaut, während die Indentierungsspitze anwendungsabhängig getauscht werden kann.
- max Last 1 N
- max. Verschiebungsdistanz 80 µm
- Verschiebungsauflösung 0.004 nm
- Max. Messfrequenz 100 kHz bis zu 30 s lang (HighSpeed / DataBurst)
- Vorhandene Spitzen: Berkovich, Cube-Corner, Sphärisch, Flat Punch
Danksagung
This equipment is part of a project that has received funding from the European Research Council (ERC) under the European Union’s Horizon 2020 research and innovation programme (grant agreement No 949626).