MOSAIK

Das Vorhaben zielt auf die Optimierung von Simulation, Design und Fabrikation eines MEMS Ringshutters hinsichtlich dessen Integration und Anwendung in einem hoch-aperturigen (0.95 NA) Linnik-Interferometer ab, um frequenzselektive Beleuchtung zu ermöglichen. Über die Abbildung des Ringshutters in die Pupillenebene der Mikroskopobjektive kann diese partiell beleuchtet werden, sodass Licht nur unter ausgewählten Einfallswinkeln in spezifizierten Sektoren auf die Probe trifft, was die Frequenzkomposition des messbaren Interferogramms verändert. Da je nach Oberflächenstruktur unterschiedliche Ortsfrequenzen entscheidend für die Rekonstruktion der Topographie sind, kann das Signal zu Rausch Verhältnis auf diese Weise deutlich verbessert werden. Dies trifft vor allem auf anspruchsvolle Struktureigenschaften mit hohen Oberflächensteigungen und kleinen Gitterperioden zu. Der Ringshutter, welcher im hier skizzierten Messaufbau als Lichtmanipulator dient, wird dazu hinsichtlich seiner optischen Eigenschaften (insb. Transmission und Kontrast) durch Anpassungen in Design, Herstellungsprozess und Materialwahl optimiert. Es sollen im Rahmen des Projektes geeignete/ideale Parameter (insb. Anzahl und Breite von Ringsektoren) zur vorteilhaften Zusammenstellung der Frequenzkompositionen bei Auswertung ausgewählter Referenzproben gefunden werden. Die Schaltgeschwindigkeit im µs-Bereich erlaubt eine schnelle dynamische Ansteuerung. Um die Methodik zu entwickeln und bestmögliche Ergebnisse zu gewährleisten, muss der Ringshutter extrem genau in den optischen Strahlengang des Interferometers eingebaut werden. Die elektronische Ansteuerung muss mit dem Messablauf synchronisiert werden und die Auswertungsalgorithmen müssen auf die veränderbaren Signalspektren angepasst werden.