Zweistrahlrasterelektronenmikroskop mit Plasma-Ionensäule (Plasma-FIB/REM)

Spezifikationen:

  • Hohe Ionenstrahlströme für hohe Abtragsraten
  • Große Bewegungsfreiheit der Bühne
  • Vollumfängliche Analytik kombinierbar mit Ionenstrahlbearbeitung
  • Untersuchungsgerechte Präparation durch verschiedene verfügbare Ionen
  • 379 mm breite Kammer mit 5-Achsen-Tisch
  • Verfahrweg xyz 110 mm × 110 mm × 65 mm
  • Kippwinkel -38° bis 90°
  • Rotation endlos 360°
  • Gezielte Präparation von Lamellen für die Transmissionselektronenmikroskopie, Atomprobe-Nadeln, Mikropillars und vielem mehr
  • Beschichten und Verbinden mit dem Gas-Injektions-System MultiChem (Pt, C, Dx)
  • Abtragen von Werkstoffbereichen mit dem Ionenstrahl

Nanomanipulator

  • Nanoindentation und mechanische Versuche auf Mikrometerebene

Energiedispersive Röntgenspektroskopie (EDX)

  • Qualitative and quantitative chemische Analyse

Elektronenrückstreubeugung (EBSD)

  • Kristallografisches Orientierungsmapping von Mikrostrukturen, auch in 3D

Flugzeit – Sekundärionen-massenspektroskopie (ToF-SIMS)

  • Höchstauflösende und hochsensitive chemische Analyse

(Inlens) Sekundär- und Rückstreuelekronen Detektoren (SE/BSE)

  • Hochauflösende Bildgebung von Oberflächentopographien und Atomkontrast

Rastertransmissionsmikroskopie (STEM)

  • Höchstauflösende Bildgebung elektronentransparenter Proben

Danksagung:

Das Zweistrahlrasterelektronenmikroskop mit Plasma-Ionensäule wurde aus Mitteln der Deutschen Forschungsgemeinschaft DFG (Projekt-Nr. 546742436) und des Europäischen Fonds für regionale Entwicklung des Landes Hessen gefördert.