Abgeschlossene Projekte
Übersicht
- Optische Sensorarrays
- Neuartige hochempfindliche optische Sensortechnologie für die Gasanalyse
- Weit durchstimmbare hochselektive optische Filter und Empfängerbauelemente für WDM Systeme
- Vertical Cavity Surface Emitting Laser (VCSEL) für den UV-Bereich
- Sichere und verlässliche Strukturen
- Photonische Kristalle
- Subwellenlängenstrukturen in photonischen Bauelementen : Strukturierung von Dielektrika mittels geformter Femtosekundenlaserpulse
- Nanooptische Strukturen auf weit durchstimmbaren MEMS Fabry-Perot Filtern
- Durchstimmbares optisches Sensorarray
- Herstellung formspezifischer polymerer Nanopartikel sowie Untersuchung derer Verteilung und Toxikologie nach pulmonaler Applikation in der Mauslunge
- Quasi-monolithische Integrationstechnologie für Hochfrequenzschaltungen
- Multischichtstrukturen für die Lithographie im extremen UV (EUVL)