• Springe direkt zu: Inhalt
  • Springe direkt zu: Suche
  • Springe direkt zu: Hauptnavigation

Diese Website setzt Cookies für die Nutzungsanalyse mit der Software Matomo ein. Diese Nutzungsanalyse wird anonymisiert und lässt keine Rückschlüsse auf individuelle Besucher zu. Klicken Sie bitte auf die Informationen zum Datenschutz.

Suchformular
  • zur Startseite
    • Forschung
  • Deutsch: Alternative Seitensprachen
    • English
zur Startseitezur Startseite
  • Universität
  • Forschung
  • INA
  • Technische Elektronik
  • Forschung
  • Abgeschlossene Projekte

ForschungINA

  • Institut für Nanostrukturtechnologie und Analytik (INA)
  • Technische Elektronik
    • Über uns
    • Forschung
      • Aktuelle Projekte
      • Abgeschlossene Projekte
    • Studium
    • Ausstattung
    • Kooperationen / Internationales
    • Publikationen
    • Kontakt
  • Technische Physik
  • Nanophotonik

Abgeschlossene Projekte

Übersicht

  • Quasi-monolithische Integrationstechnologie für Hochfrequenzschaltungen
  • Multischichtstrukturen für die Lithographie im extremen UV (EUVL)
Seite teilen:
In Zwischenablage kopiert


Servicenavigation

  • Datenschutz
  • Impressum
  • Forschung
    Nach oben