Forschung

Das Fachgebiet Technische Physik befasst sich schwerpunktmäßig mit den folgenden Themenfeldern:

• Entwicklung von neuartigen Verfahren zur Nanostrukturierung von Halbleitersystemen
• Morphologische, optische und elektronische Charakterisierung von nanostrukturierten Halbleitern
• Herstellung von neuartigen optoelektronischen und nanophotonischen Bauelementen
• Optische und elektronische Charakterisierung der Bauelemente
• Herstellung und Charakterisierung von nanokristallinen Diamantschichten

Bei der Nanostrukturierung von Halbleitermaterialien werden drei Richtungen verfolgt:

1. Top-down approach: Herstellung von Nanostrukturen durch Nanolithographieverfahren (z.B. Elektronen- oder Ionenstrahl- bzw. Nanoimprint-Verfahren) und Ätztechniken (z.B. nass- oder trockenchemisches Ätzen)
2. Bottom-up approach: Herstellung von Nanostrukturen mit selbstorganisierenden Verfahren (z.B. Quantenpunktwachstum mit Molekularstrahlepitaxie, Entstehung von Nanokristalliten mit speziellen Plasmaabscheideverfahren)
3. Mixed approach: Herstellung von Nanostrukturen durch Kombination von top-down und bottom-up approach (z.B. Quantenpunktwachstum auf vorstrukturierten Substraten).

Eine thematische Übersicht ist in einem Übersichtsposter dargestellt.

Die Forschung gliedert sich aktuell in folgende Gebiete auf: